Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
FEI Quanta 200 FEG
FEI Quanta 200 FEGSEM.
Hochauflösendes analytisches Feldemissionsrasterelektronenmikroskop
Standort: DB08E11
Tel.: 45207
Geräteverantwortlicher: Prof. Dr. Johannes Bernardi
Anwendungsgebiete:
- Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchung
- Chemische Röntgenmikroanalyse
- Strukturuntersuchungen mit EBSD
- Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich
- Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa
Spezifikationen:
| Elektronenoptik | |
| Emitter | Schottky Emitter |
| Beschleunigungsspannung | 200 V - 30 kV |
| Auflösung | |
| @ 30 kV @ Hochvakuum | 1.2 nm |
| @ 30 kV @ Niedervakuum / ESEM | 1.5 nm |
| @ 1 kV @ Hochvakuum | 3 nm |
| @ 3 kV @ Niedervakuum | 3 nm |
| Strahlstrom | > 100 nA |
| Detektoren | |
| Everhart- Thornley- Detektor Sekundärelektronen im Hochvakuum | |
| Halbleiterdetektor für Rückstreuelektronen | |
| GSED für Drücke bis 40 mbar | |
| Large Field Sekundärelektronendetektor für Niedervakuumbetrieb | |
| Keramischer GSED für Untersuchungen am Heiztisch | |
| Analytik | |
| Energiedispersives Röntgenanalysensystem (EDAX Pegasus XM4) | |
| OIM System mit DigiView III EBSD Kamera mit integriertem Forward Scatter Detektor | |
| Zusätze | |
| Nanomanipulatoren mit Low Current Measurement Kits | |
| Heiztisch bis 1000°C | |
| Peltier-Stage bis -25°C | |
| Vakuumarbeitsbereiche | |
| Hochvakuum | 6 x 10-6 mbar |
| Niedervakuum | 0.1 mbar bis 1.3 mbar |
| ESEM | bis 40 mbar |