Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
FEI TECNAI G20
TECNAI G20 beim Aufbau.
TECNAI G20 (13-200 keV EELS) nach Fertigstellung.
Standort: DB08E11
Tel.: 45223
Geräteverantwortlicher: Dr. Michael Stöger-Pollach
Anwendungsgebiete:
- Halbleiteruntersuchungen mit EELS (VEELS)
- Ausbildung von Studenten
- Auftragsforschung
Besonderheiten: low voltage EELS
Spezifikationen:
| Emitter | LaB6 |
| Betriebsspannung | 13 kV - 200 kV |
| EELS/EFTEM | GIF 2001 |
| EDX | ja |
| STEM | ja |
| HAADF | nein |
| lattice resolution | 0.14 nm |
| point resolution | 0.2 nm |
| EELS resolution @ 200 kV | 0.6 eV* |
| EELS resolution @ 20 kV | 0.25 eV* |
| line resolution EDX | 136 eV |
*mit gesättigtem Filament
Probenhalter:
| single tilt | ja |
| double tilt (low background) | ja |
| double tilt rotation | ja (+/- 35°) |
| cryo transfer double tilt | ja |
| double tilt heating (1000°C) | ja (+/- 30°) |