Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
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Dual Beam Focused Ion Beam zur 3D Materialcharakterisierung

Standort: DB08H11
Tel.: 45220
Geräteverantwortlicher: Dipl.-Ing. Andreas Steiger-Thirsfeld

Anwendungsgebiete:

Quanta 200 3D DualBeam-FIB

  • Chemische Nanoanalytik (100 µm - 10 nm)
  • Strukturanalyse bis in den nm-Bereich
  • 3D Tomographie für Life Sciences
  • Zielpräparation für die Transmissionselektronenmikroskopie (TEM) mit nm-Präzision
  • 3D in-situ Analyse von Defekten oder Testbereichen in Metallen, Halbleitern und Keramiken
  • Präparation und Analyse von porösen Materialien
  • Präparation und Analyse von Proben bei tiefen Temperaturen auf einer Cryostage
  • Probenpräparation, -charakterisierung und -analyse bei Drücken bis zu 2600 Pa und hohen Luftfeuchtigkeiten
  • Aufladungsfreie Abbildung von nichtleitenden Proben im Niedervakuum Bereich bis 130 Pa
  • Defect repair in Halbleiterstrukturen
  • Nanomachining,  Aufbau von Strukturen im Nanometerbereich durch Abscheidung von Material aus der Gasphase im Ionen- oder Elektronenstrahl
  • Schneiden von beliebigen Strukturen, unabhängig von den "Box, Circle, Line"-Standardwerkzeugen
  • Scripting zur vollautomatisierten Steuerung der FIB

Besonderheiten: Vollwertiges Rasterelektronenmikroskop (ESEM) in Kombination mit einer Focused Ion Beam (FIB)

Spezifikationen:

DBFIB Probenkammer
Nanomanipulatoren
Cryo-Transferstage
Elektronenoptik
EmitterW- Filament
Beschleunigungsspannung200 V - 30 kV
Auflösung
3.5 nm @ 30 kV @ high vacuum
3.5 nm @ 30 kV @ ESEM mode (<2600 Pa)
15 nm @ 3 kV @ low vacuum mode (< 130 Pa)
Maximaler Strahlstrom1 µA
Ionenoptik
Ionensäule mit Ga Liquid metal ion source
Auflösung:  10 nm @ 30 kV @ 1 pA
Beschleunigungsspannung5 kV bis 30 kV
Strahlstrom1 pA bis 30 nA
Platin- und Wolfram-Metall Deposition
Detektoren
Elektronendetektoren für Sekundär- und Rückstreuelektronen
im Hochvakuum-, Low Vacuum- und ESEM Modus
Analytik
Energiedispersives Röntgenanalysen-System (EDAX Pegasus XM4)
OIM System mit Digiview III EBSD Kamera mit integriertem Forward Scatter Detektor
Zusätze
Polaron Cryoworkstation mit Cryotransfer Einheit und Cryo-Probenbühne-186°C bis +50°C
Mikromanipulatoren (Kleindiek) mit Rotation-Tip und Microgripper
Force Measurement System
AFSEM in-situ Rasterkraftmikroskop mit low-noise self-sensing cantilevers