Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
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FEI Quanta 250 FEG

FEI Quanta 200 FEGSEM.

Hochauflösendes analytisches Feldemissionsrasterelektronenmikroskop

Standort: DB08E11
Tel.: 45207
Geräteverantwortlicher: Dipl.-Ing. Andreas Steiger-Thirsfeld

Anwendungsgebiete:

  • Hochauflösende rasterelektronenmikroskopische Untersuchung
  • Chemische Röntgenmikroanalyse
  • Strukturuntersuchungen mit EBSD
  • Untersuchung von nichtleitenden Proben im Niedervakuumbereich
  • Untersuchung von feuchten Proben bei Drücken bis 4000 Pa

Spezifikationen:

Elektronenoptik
EmitterSchottky Emitter
Beschleunigungsspannung200 V - 30 kV
Auflösung
@ 30 kV @ Hochvakuum1.2 nm
@ 30 kV @ Niedervakuum / ESEM1.5 nm
@ 1 kV @ Hochvakuum3 nm
@ 3 kV  @ Niedervakuum3 nm
Strahlstrom> 100 nA
Detektoren
Everhart- Thornley- Detektor Sekundärelektronen im Hochvakuum
Halbleiterdetektor für Rückstreuelektronen
GSED für Drücke bis 40 mbar
Large Field Sekundärelektronendetektor für Niedervakuumbetrieb
Keramischer GSED für Untersuchungen am Heiztisch
CBS Detektor
retractable STEM 3 Detektor
Navigation Camera
Analytik
Energiedispersives Röntgenanalysensystem
(EDAX SDD Octane Elite 55) mit Si3N4 Fenster
OIM System mit high speed Hikari CCD EBSD Kamera mit integriertem Forward Scatter Detektor
NPAR
Probenhalter für Transmission-Kikuchi (TKD) Diffraction
Hysterion Picoindenter
AFSEM in-situ Rasterkraftmikroskop mit low-noise self-sensing cantilevers
Zusätze
Nanomanipulatoren mit Low Current Measurement Kits
Heiztisch bis 1000°C
Peltier-Stage bis -25°C
Vakuumarbeitsbereiche
Hochvakuum6 x 10-6 mbar
Niedervakuum0.1 mbar bis 1.3 mbar
ESEMbis 40 mbar
Beam Deceleration