Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
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FEI TECNAI G20 - Low Voltage

TECNAI G20 beim Aufbau.
TECNAI G20 (10-200 keV EELS) nach Fertigstellung.

Standort: DB08E11
Tel.: 45223
Geräteverantwortlicher: Dr. Michael Stöger-Pollach

Anwendungsgebiete:

  • Abbildungen in Bild- und Raster-Modus (STEM)
  • Elektronenbeugung
  • Halbleiteruntersuchungen mit EELS (VEELS)
  • Ausbildung von Studenten
  • Auftragsforschung
  • CL - Kathodoluminszenz

Besonderheiten: low voltage EELS

Spezifikationen:

EmitterLaB6
Betriebsspannung10 kV - 200 kV
EELS/EFTEMGIF 2001
EDX EDAX Si(Li) Detektor
GATAN MSC 794 CCD-Kamera1k x 1k, bottom mount
STEMja
HAADFnein
lattice resolution0.14 nm
point resolution0.2 nm
EELS resolution @ 200 kV0.7 eV*
EELS resolution @ 20 kV0.25 eV*
line resolution EDX136 eV

*mit gesättigtem Filament

Probenhalter:

single tiltja
double tilt (low background)ja
double tilt rotation ja (+/- 35°)
cryo transfer double tiltja
double tilt heating (1000°C)ja (+/- 30°)

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