Universitäre Service-Einrichtung für Transmissionselektronenmikroskopie
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8. Stock:

Standort: DB08E03
Tel.: 45211, 45214
Verantwortlicher: Hr. Jakob Gruber

7. Stock:

Standort: DB07E03
Tel.: 13778

Ionenmühlen

Low-Voltage Ionenmühle

Gentlemill

Anwendungsgebiete:

  • Nachdünnen von mit der FIB geschnittenen TEM-Lamellen
  • Nachdünnen von mit der PIPS gedünnten Proben

Hersteller: TechnoorgLinda
Betriebsspannung: 500 V - 1000 V
Filament: Wolfram Heizkathode (Omega-Kathode)
Vakuum: 1 Membranpumpe, 1 Turbomolekularpumpe (ölfrei)

PIPS mit aufgesetzter Videokamera für die Probenkontrolle.

 

 

Precision Ion Polishing System (PIPS)

Anwendungsgebiete:

  • Ionendünnen von mechanisch präparierten Proben
  • Ionendünnen von elektropolierten Proben

Hersteller: GATAN Inc.
Betriebsspannung: 50 V - 5000 V
Vakuum: 1 Membranpumpe, 1 Turbomolekularpumpe (ölfrei)

Besonderheiten:

  • Low Voltage: für TEM-Lamellen Nachdünnung und Oberflächenreinigung
  • Cryo: für Temperaturempfindliche Proben

 

 

PIPS II - automatisiertes Ionendünnen

Precision Ion Polishing System (PIPS II)

Anwendungsgebiete:

  • Ionendünnen von mechanisch präparierten Proben
  • Ionendünnen von elektropolierten Proben

Hersteller: GATAN Inc.
Betriebsspannung: 100 V - 8000 V
Vakuum: 1 Membranpumpe, 1 Turbomolekularpumpe (ölfrei)

Besonderheiten:

  • Low Voltage: für TEM-Lamellen Nachdünnung und Oberflächenreinigung
  • Cryo: für Temperaturempfindliche Proben
  • Videosystem für die Aufzeichnung von Dünnungsvorgängen
  • programmierbare Rezepte für automatisiertes Ionendünnen
  • verfahrbare Probenstage zur gezielten Auswahl von zu dünnenden Probenbereichen

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Präzisionstrennen

Präzisionstrenn- und Schleifmaschine

Accutom 50

Anwendungsgebiete:

  • Automatische Präzisionstrenn- und Schleifmaschine
  • Schneiden von Proben zur Vorbereitung für die TEM-Präparation
  • Schleifen von Proben und Dünnschliffen zur Vorbereitung für die TEM/SEM-Präparation

Hersteller: Struers
Geschwindigkeit  300 U/min - 5000 U/min
Vorschub  0.005 mm/s -3.000 mm/s
Positioniergenauigkeit: 5 µm
Al2O3 bzw.  Diamanttrennscheiben
Diamanttopfscheibe für harte, spröde und duktile Werkstoffe (91 µm, 40 µm)

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Drahtsäge

Drahtsäge

Mit der Drahtsäge können sehr feine Schnitte mit äußerst geringer Materialbelastung durchgeführt werden. Diese Art des Schneidens wird vorwiegend bei spröden Materialien, aber auch Querpräparationen eingesetzt.

Sie ist unser ältestes noch in Betrieb befindliches Gerät mit einer Inventarnummer aus 1965(!)

Drahtsäge (WELL Precision Diamond Wire Saw Typ 3500)

Drahtsäge (WELL Precision Diamond Wire Saw Typ 3500)

Anwendungsgebiete:


Mit der Drahtsäge können sehr feine Schnitte mit äußerst geringer Materialbelastung durchgeführt werden. Diese Art des Schneidens wird vorwiegend bei spröden Materialien, aber auch Querpräparationen eingesetzt.

Besonderheiten:

  • 2 verschiedene Drahtstärken (160µ, 100µ)
  • Verschiedene Probenhalter (flach, drehbar, Goniometer)
  • Automatische Stoppfunktion
  • Schnittvorgang mit Lichtmikroskop beobachtbar

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Elektropoliereinrichtung beim Abkühlen mit LN2.

Elektrolytisches Dünnen

TenuPol-5

Hersteller: Struers

Anwendungsgebiete:

  • Elektrolytisches Dünnen von TEM-Proben mit Infrarotsensor zur automatischen Abschaltung


Arbeitstemperatur bis zu –30°C einstellbar über Kühlaggregat

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Dimple Grinder zur Präzisionsprobendünnung.

Schleifen / Polieren

Bei diesem Präparationsweg werden Proben mit SiC oder Diamant beschichteten Folien gedünnt und mit Polierfilzen fertiggestellt. Für das mechanische Schleifen stehen ein Parallelschleifhalter sowie ein Dreibein Probenhalter für Keilpräparationen zur Verfügung. Zu unserem weiteren Gerätepool für die mechanische TEM Probenpräparation zählen ein Ultraschallbohrer, eine Gatan-Probenstanze, sowie ein Dimple-Grinder.

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Metprep4
Fluid Dispenser
Multiprep

Schleifmaschine MetPrep4 mit Powerhead4

Hersteller: Allied

Anwendungsgebiete:

  • Halbautomatisches Herstellen von metallographischen Schliffen für die Elektronenmikroskopie

Spezifikationen:

  • 25 programmierbare Präparationsstufen
  • 40-600U/min
  • verschiedene Schleifteller für verschiedenste Proben
  • magnetische Schleifteller für schnellen Wechsel der Schleif- und Polierscheiben
  • 4 Proben gleichzeitig bearbeitbar

 

AD-5 Fluid Dispenser

 Hersteller: Allied

 Anwendungsgebiete:

  • Automatisches aufbringen von Schmier-, Schleif- und Poliermaterialien

 Spezifikationen:

  • 5 verschiedene Flüssigkeitsbehälter
  • 25 individuell programmierbare Spenderprogramme
  • Kann mit MetPrep verbunden und in die Schleifprogramme eingebunden werden

 

 

 

 

 Schleifmaschine Multiprep System

Hersteller: Allied

 Anwendungsgebiete:

  • Hochpräzisionsschleifmaschine zu Herstellen von Proben für TEM, FIB

 Spezifikationen:

  • Positionierung von der Probe mittels Mikrometerschrauben
  • 5-350 U/min
  • Verschiedene Probenhalter für unterschiedlichste Probenformen und Präparationen
  • verschiedene Schleifteller für verschiedenste Proben
  • magnetische Schleifteller für schnellen Wechsel der Schleif- und Polierscheiben

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Plasmacleaner zum Reinigen von TEM-Proben und Probenhalter.

Plasmacleaner

Hersteller: Gala

Mit dem Plasmacleaner können die fertigen TEM-Proben vorbehandelt werden, um Kontamination (vor allem Kohlenstoff) während der TEM-Untersuchung zu vermeiden.

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Ultramikrotomie

Ultramikrotom im Einsatz

In Harz eingebettete Proben können mit dem Ultramikrotom auf eine Dicke von ca. 50 nm - 100 nm geschnitten werden. Die fertigen Schnitte werden in einer mit Wasser gefüllten Wanne aufgefangen, wo sie mit einem TEM-Netzchen herausgefischt werden können. Ultramikrotom-Schnitte sind elektronentransparent und können ohne weiteres Nachdünnen direkt im TEM untersucht werden.

Dünnschnitte können auch unter flüssigem Stickstoff durchgeführt werden. Dazu steht uns ein Kryo-Ultramikrotom zur Verfügung.

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Sputter Coater Quorum Q150T S

Quorum Q150T S Sputter Coater

Hersteller: Quorum

Anwendungsgebiete:

  • Beschichten von nichtleitenden Proben für SEM und TEM
  • Herstellung von elektronenabsorbierenden Schichten für Holographieblenden

Spezifikationen:

  • Cr- und Au/Pd-Targets
  • Ir- und Os-Targets für Hochauflösung und/oder chemische Röntgenmikroanalyse
  • C-Target üfr EBSD und EDX ohne metallische Leitschicht, TEM-Nethchenherstellung
  • Feinkorn-Beschichtung unter Hochvakuumbedingungen 
  • Rotierende und schwenkbare Probebühne
  • Schichtdickenmonitor

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TEM Lamelle
3D Präparation einer Holzprobe

TEM Lamellen-Präparation

Zielgenaue TEM Lamellen Präparation ist mit DualBeam-FIB Quanta 200 3D möglich.  Dabei wird eine Probenstelle durch den Gallium Ionenstrahl beidseitig freigelegt und die so erzeugte Lamelle mit Nanomanipulatoren auf einem TEM-Probenträger befestigt.

 

 

 

3D Präparation

Mit dem Ionenstrahl können ausgewählte Bereiche freigelegt werden und gewährleisten so eine 3D Abbildung der Probe.

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Oberflächenpolieren

Anwendungsgebiet:

Zum Hochglanzpolieren von Proben unterschiedlichster Materialien verwenden wir die VibroMet2. Die damit polierten Oberflächen sind bestens geeignet für EBSD Untersuchungen im Rasterelektronenmikroskop.

Hersteller: BUEHLER
Spezifikationen: bis zu 7200 Vibrationszyklen/min

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Lavamin

Anwendungsgebiet:

  • Reinigung metallographischer Schliffe

Hersteller: Struers

Spezifikationen: 

  • 4 verschiedene Reinigungsprogramme
  • schnelles Trocknen mittels Druckluft
  • keine Verwendung von Laugen oder Alkohol erforderlich

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Probenstanze

Anwendungsgebiet:

  • Stanzen von 3 mm Scheibchen aus dünnen Metallfolien

Hertseller: GATAN

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Ultraschallbohrer

Anwendungsgebiete:

  • Herstellung von 3 mm Scheibchen zur Probenpräparation für TEM

Hersteller: GATAN

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Thermopresse

Thermopress M

Anwendungsgebiete:

  • Heißenbetten für metallographische Proben

Hersteller: Jean Wirtz

Spezifikationen: Einbettdurchmesser: 25 mm

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